主要特點
經過凈化的SF6氣體質量標準：
露點 | ＜80μL/L |
油份 | ＜10μL/L |
固態顆粒直徑 | ＜1μm |
酸性物質 | ＜0.5μL/L |
分解產物 | ＜1μL/L（以SO2、H2S、CO、HF的總和計） |
輔助液化回收裝置參數：
壓縮速率 | ≥10Nm³/h |
制冷劑 | R404a |
理論回收能力 | 15min內50kg液態六氟化硫（前級有充足氣源） |
電源 | AC380V±10% 50Hz |
功率 | ＜6kW |
技術參數
尾氣處理裝置參數：
處理速率 | ≥10Nm³/h |
年泄漏率 | ≤1‰（任意位置檢漏儀小于10ppmv） |
極限真空度 | ≤50pa |
電源 | AC 380V±10% 50Hz |
功率 | ＜3kW |
